Патенты принадлежащие РОЛИТ, ИНК. (US)
Изобретение относится к области литографии и касается способов изготовления снабженной нанорисунком цилиндрической фотомаски. Способ включает нанесение слоя эластомерного материала на прозрачный цилиндр с последующим формированием на эластомерном материале элементов рисунка размером от 1 нм до 100 мкм.
Изобретение относится к способу и устройству, полезным при нанесении нанорисунка на подложки большой площади. .
