Патенты принадлежащие Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения РАН (ИЯФ СО РАН) (RU)

Изобретение относится к изготовлению рентгеношаблонов, преимущественно для «мягкой» литографии. .
Наверх