Патенты принадлежащие Общество с ограниченной ответственностью "МеГа Эпитех" (RU)
Изобретение относится к области силовой микроэлектронной техники, а более конкретно, к способам изготовления полупроводниковых p-i-n структур из соединений A3B5 методами жидкостной эпитаксии. .
