Патенты принадлежащие Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего професионального образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" (RU)

Изобретение относится к области измерительной техники и интегральной электроники, а именно к интегральным измерительным элементам величины угловой скорости. .
Наверх