Патенты принадлежащие Учреждение Российской Академии наук "Институт физики им. Х.И. Амирханова Дагестанского научного центра РАН" (RU)
Изобретение относится к области производства керамических материалов и предназначено для использования при изготовлении мишеней на основе оксида цинка, являющихся источником материала для магнетронного, электронно-лучевого, ионно-лучевого и других методов нанесения пленок в микро-, опто-, наноэлектронике.
