Патенты принадлежащие Закрытое акционерное общество "Натотехнология МДТ" (RU)
Изобретение относится к области нанотехнологии и может быть использовано для получения атомно-тонких монокристаллических пленок различных слоистых материалов. Технический результат - упрощение технологии изготовления атомно-тонких монокристаллических пленок.
