Патенты принадлежащие ИАИ ИНДАСТРИАЛ СИСТЕМЗ Б.В. (NL)
Изобретение относится к способу и устройству для обработки подвижной подложки при помощи лазера для получения в результате обработки материала, отделенного от подложки. В ходе обработки подложки большее давление поддерживают с помощью насоса со стороны подложки, на которую излучается лазерный луч, чем с другой стороны подложки.
