Патенты принадлежащие Учреждение образования "Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины" (BY)
Изобретение относится к лазерной резке анизотропных материалов, в частности к способу разделения кристаллического кремния, и может быть использовано в электронной промышленности, а также в других областях техники и производства, где существует необходимость прецизионной обработки изделий из кристаллических материалов.
