Патенты принадлежащие Общество с ограниченной ответственностью научно-производственная фирма "Эпикрист" (RU)
Изобретение относится к сфере производства гетероэпитаксиальных структур, которые могут быть использованы в технологии изготовления элементов полупроводниковой электроники, способных работать в условиях повышенных уровней радиации и высоких температур.
