Патенты принадлежащие Учреждение Российской Академии наук Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН) (RU)
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ГРАФЕНОВОЙ ПЛЕНКИ // 2500616
Изобретение может быть использовано при изготовлении прозрачных электродов и приборов наноэлектроники. Графеновую пленку получают осаждением в вакууме углерода из углеродсодержащего газа на подложку, покрытую катализатором, предварительно нагретую до температуры, превышающей разложение углеродсодержащего газа.
