Патенты принадлежащие Общество с ограниченной ответственностью "РнД-ИСАН" (RU)
Изобретение относится к широкополосным высокояркостным источникам света на основе непрерывного оптического разряда. Технический результат – упрощение конструкции источника света, повышение его надежности и удобства эксплуатации, создание на этой основе мощных безэлектродных высокояркостных широкополосных источников света с максимально высокой пространственной и энергетической стабильностью.
Изобретение относится к широкополосным высокояркостным источникам света на основе непрерывного оптического разряда. Технический результат - расширение в ВУФ диапазоне спектра излучения плазменных источников света с лазерной накачкой при обеспечении их высокой яркости и стабильности.
Изобретение относится к области высокояркостных широкополосных источников света. Технический результат - повышение пространственной и энергетической стабильности высокояркостного источника света с лазерной накачкой.
Изобретение относится к плазменным источникам света с непрерывным оптическим разрядом (НОР) и способам генерации излучения. Технический результат - повышение яркости и стабильности широкополосных источников света.
Изобретение относится к области светотехники. Источник света содержит заполненную газом камеру (1) с областью излучающей плазмы (2), поддерживаемой в камере сфокусированным пучком (3) непрерывного лазера (4).
Изобретение относится к области оптоэлектронного приборостроения и касается спектрально-селективного поглотителя ИК излучения и микроболометрического детектора. Поглотитель включает в себя плоскопараллельный резонатор с передним и задним зеркалами.
Изобретение относится к источнику излучения на основе лазерной плазмы. Область применений включает ЭУФ метрологию, инспекцию микро- и наноструктур, актиническую инспекцию литографических ЭУФ масок.
КОМПАКТНЫЙ ШИРОКОДИАПАЗОННЫЙ ВУФ СПЕКТРОМЕТР // 2661742
Изобретение относится к области аналитического приборостроения и касается компактного широкодиапазонного спектрометра вакуумного ультрафиолетового (ВУФ) и мягкого рентгеновского (MP) диапазона. Спектрометр скользящего падения состоит из корпуса с входной щелью, дифракционной решетки и детектора.
ШИРОКОПОЛОСНЫЙ ОТРАЖАТЕЛЬНЫЙ ФИЛЬТР // 2660078
Изобретение относится к оптической технике. Широкополосный отражательный фильтр с отсечкой коротковолнового излучения содержит систему из четырех зеркал, выполненных с возможностью перемещения, изменяющего угол скольжения θ, под которым освещается каждое зеркало.
Использование: для спектрометрии вакуумного ультрафиолетового или мягкого рентгеновского излучения. Сущность изобретения заключается в том, что спектрометр содержит входную щель, вогнутую дифракционную решетку (ВДР) скользящего падения и регистратор изображения, на входной поверхности которого формируется спектр, входная щель расположена внутри окружности Роуланда, а входная поверхность регистратора изображения дважды пересекает поверхность фокусировки спектральных линий, соответствующую положению входной щели, смещенной с окружности Роуланда, вблизи расположенного на двойной окружности Роуланда минимума удаленности указанной поверхности от центра ВДР.
Изобретение относится к области аналитического приборостроения и касается спектрометра для вакуумного ультрафиолетового (ВУФ) и мягкого рентгеновского (MP) диапазона. Спектрометр включает в себя входную щель, вогнутую дифракционную решетку скользящего падения, регистратор изображения со стробируемым МКП детектором, люминесцентный экран, внешний электрод и импульсный генератор.
Заявленное изобретение относится к устройству источников света с лазерной накачкой. Заявленное устройство включает камеру (1), содержащую газ, лазер (2), оптический элемент (4), область излучающей плазмы (6), блокатор (8) и оптическую систему сбора излучения плазмы (14).
Изобретение относится к области источников света с лазерной накачкой. Технический результат - расширение функциональных возможностей источника света с лазерной накачкой за счет повышения его пространственной и энергетической стабильности, увеличения яркости, повышения надежности работы в долговременном режиме при обеспечении компактности устройства.
Изобретение относится к лазерной технике. Эксимерная лазерная система содержит шасси, на котором размещены: импульсный источник питания, выводы которого малоиндуктивно подсоединены к конденсаторам каждого лазерного модуля; дополнительный источник питания с полярностью, противоположной полярности источника питания, подключенный к дополнительным конденсаторам через торцы каждого керамического контейнера; первый лазерный модуль и второй лазерный модуль, идентичный первому.
ГАЗОРАЗРЯДНЫЙ ЛАЗЕР // 2519867
Изобретение относится к лазерной технике. В газоразрядном лазере конденсаторы, малоиндуктивно подключенные к электродам лазера, размещены вблизи первого электрода в керамических контейнерах.
Изобретение относится к лазерной технике. Лазер, преимущественно эксимерный, включает в себя лазерную камеру, состоящую из керамического материала и имеющую протяженные первый и второй электроды, первый из которых расположен вблизи внутренней поверхности лазерной камеры, блок предыонизации; систему циркуляции газа; набор конденсаторов, расположенных вне лазерной камеры, и источник питания, подключенный к конденсаторам.
