Патенты принадлежащие Учреждение образования "Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины", ул. Советская, 104 (BY)
ЗОЛЬ-ГЕЛЬ СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ СТРОНЦИЙ -ВИСМУТ-ТАНТАЛ-ОКСИДНОЙ ПЛЕНКИ // 2511636
Изобретение относится к технологии полупроводниковой микро- и наноэлектроники, а именно к золь-гель технологии получения сегнетоэлектрических тонких стронций-висмут-тантал-оксидных пленок на интегральных микросхемах, применяемых в частности в устройствах энергонезависимой памяти типа FRAM.
