Изобретение относится к области медицины и предназначено для плазменной вакуумной стерилизации медицинских изделий. Способ низкотемпературной плазменной вакуумной стерилизации изделий включает размещение изделия, подлежащего стерилизации, в камере стерилизатора, вакуумирование камеры стерилизатора, генерацию плазмы, взаимодействие со стерилизующим агентом, в качестве которого используют водную композицию, содержащую перекись водорода и органическую кислоту, в качестве которой используется молочная, лимонная или уксусная кислота.