Патенты принадлежащие ЕРЛИКОН ТРЕЙДИНГ АГ, ТРЮББАХ (CH)
СПОСОБ ПРЕДВАРИТЕЛЬНОЙ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК ДЛЯ СПОСОБА НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ ОСАЖДЕНИЕМ ПАРОВ // 2519709
Изобретение относится к обработке поверхностей заготовок в установке вакуумирования с выполненным в виде мишени первым электродом, являющимся частью источника испарения электрической дугой, и с выполненным в виде держателя заготовок вторым электродом.
