Патенты принадлежащие Общество с ограниченной ответственностью "ЭЛЕМЕНТ-22" (RU)
Изобретение относится к технологии изготовления конденсаторов с диэлектриком из керамики на основе титаната бария. Способ изготовления сегнетоэлектрических конденсаторов включает формование керамической подложки, преимущественно на основе титаната бария, нанесение легирующего покрытия, вакуумное напыление медных электродов и вакуумный отжиг композитного материала, при этом легирующее покрытие наносят в жидкой фазе путем конденсации из парового потока испаренных в вакууме металлов, выбранных из ряда: титан, ванадий, хром, марганец, ниобий, при температуре подложки 150-350°С, после чего подложку с легирующим покрытием подвергают вакуумному отжигу, а последующее нанесение медных электродов проводят непосредственно на нагретую до температуры не выше 600°С композитную подложку.
