Патенты принадлежащие НИВАРОКС-ФАР С.A. (CH)

Изобретение относится к области изготовления микромеханических деталей гальванопластикой, в частности изготовлению деталей, обеспечивающих движение в часовых механизмах. Способ включает изготовление формы путем обеспечения подложки, имеющей верхний слой и нижний слой, которые изготавливают из электропроводящего материала на основе кремния и скрепляют друг с другом через электроизолирующий промежуточный слой, травление в верхнем слое до промежуточного слоя по меньшей мере одного шаблона для образования в указанной форме по меньшей мере одной полости, нанесение на верхнюю часть указанной подложки электроизолирующего покрытия и направленное травление указанного покрытия и указанного промежуточного слоя для обеспечения их наличия исключительно на вертикальных стенках, образующихся в указанном верхнем слое.
Наверх