Патенты принадлежащие Общество с ограниченной ответственностью "Наноэлектронные системы" (RU)
ВИБРОДАТЧИК // 2535646
Изобретение относится к измерительной технике, представляет собой вибродатчик в микроэлектромеханическом исполнении и может использоваться для регистрации вибрации, в том числе с субмикронной амплитудой, и измерения параметров вибрации.
