Патенты принадлежащие АЗ Электроник Матириалс АйПи (Джапан) КК (JP)
Изобретение относится к способу образования кремнистой пленки. Согласно данному способу, кремнистая пленка, имеющая гидрофильную поверхность, может быть образована из полисилазанового соединения при низкой температуре.
