Патенты принадлежащие ВОЛТЕЙКС, ЭлЭлСи. (US)
Описано устройство, трубчатый проточный реактор идеального вытеснения с ламинарным потоком, для производства силиламинов и, в частности, трисилиламина (TSA) с высоким выходом из газообразного аммиака и газообразного моногалосилана.
