FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты принадлежащие Тимаков Сергей Владимирович (RU)
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ ДАТЧИКА МЕХАНИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН
// 2544864
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в технологии изготовления малогабаритных тонкопленочных датчиков механических величин, работоспособных в широком диапазоне температур.
Подписаться на новые патенты этого владельца
Отправить сообщение владельцу патента
Я этот человек или организация