Патенты принадлежащие Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт высокомолекурных соединений Российской академии наук (RU)
ТЕРМОСТОЙКИЙ ФОТОРЕЗИСТ // 2549532
Изобретение относится к термостойкому фоторезисту, содержащему реакционный раствор поли(о-гидроксиамида) - продукта поликонденсации дихлорида изофталевой кислоты и 3,3'-дигидрокси-4,4'-диаминодифенилметана или смеси 3,3'-дигидрокси-4,4'-диаминодифенилметана и бис -(3-аминопропил)диметил-силоксана, взятых в соотношении от 9:1 до 1:9 мол.
