Патенты принадлежащие ФРАУНХОФЕР ГЕЗЕЛЬШАФТ ЦУР ФЁРДЕРУНГ ДЕР АНГЕВАНДТЕН ФОРШУНГ Е.В. (DE)
Изобретение относится к установке и способу нанесения покрытия на подложку. Установка содержит вакуумную камеру, во внутреннем пространстве которой располагают подложку для нанесения на нее покрытия и по меньшей мере одну распыляемую мишень, и устройство для определения износа распыляемой мишени.
