Патенты принадлежащие Общество с ограниченной ответственностью "Плазменные источники" (RU)
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛАЗМЫ ИОНОВ БОРА // 2550738
Изобретение относится к области плазменной техники и может быть использовано в полупроводниковой и других отраслях промышленности, где необходима модификация поверхностей материалов. Способ включает генерацию плазмы ионов бора в импульсном сильноточном магнетронном разряде, параметры которого достаточны для реализации режима самораспыления мишени из бора и составляют: ток 10-50 А, напряжение 1-2 кВ, длительность импульса - 10-100 мкс.
