Изобретение относится к способам получения 1-S-триметилсилил-2-(N,N-диэтиламино)этана. Предложен способ получения 1-S-триметилсилил-2-(N,N-диэтиламино)этана силилированием тиольной группы в 2-диэтиламиноэтантиоле смесью гексаметилдисилазана и триметилхлорсилана в мольном соотношении реагентов (2-диэтиламиноэтантиол : гексаметилдисилазан : триметилхлорсилан) 3:1:1 в среде хлороформа.