Патенты принадлежащие МЕМК ЭЛЕКТРОНИК МАТИРИАЛЗ, ИНК. (US)
СПОСОБЫ ПРОИЗВОДСТВА ТЕТРАФТОРИДА КРЕМНИЯ // 2560377
Изобретение относится к способам производства фторидных соединений и, в частности, к способам производства тетрафторида кремния кислотным гидролизом фторидных солей щелочных металлов или щелочноземельных металлов и алюминия.
