Патенты принадлежащие ВЫСШИЙ СОВЕТ ПО НАУЧНЫМ ИССЛЕДОВАНИЯМ (КСИС) (ES)
Изобретение относится к способу нанесения покрытия на зонды для атомно-силовой микроскопии (АСМ). Способ включает нанесение покрытия по меньшей мере на один АСМ-зонд посредством источника ионных кластеров.
