Патенты принадлежащие Грац Центре фор Электрон Микроскопи (ЦФЕ) (AT)
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП, СОВМЕЩЕННЫЙ С УСТРОЙСТВОМ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА // 2572522
Изобретение относится к сканирующим зондовым микроскопам, адаптированным для измерения поверхности образца, полученной после механической модификации этой поверхности. Микроскоп содержит основание (1), сканирующее устройство (33), установленное на механизме (6) перемещения образца (40), образец (40), закрепленный на сканирующем устройстве (33), первый зажим (27) с зондом (28), адаптированным для зондирования образца (6), блок управления, адаптированный для управления сканирующим устройством (33) и зондом (28), и платформу (18) с первой и второй направляющими, на которых установлена подвижная каретка (26).
