Патенты принадлежащие Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" (RU)
Изобретение относится к области приборостроения и может применяться для изготовления микромеханических датчиков - датчиков давления, ускорения, угловой скорости. Способ изготовления упругих элементов из монокристаллического кремния включает окисление плоской круглой пластины с определенной величиной клиновидности профиля с ориентацией базовой поверхности в плоскости (100), нанесение на нее защитного слоя фоторезиста, фотолитографию, вскрытие окон в окисном слое в области формирования упругих элементов на определенную ширину с учетом анизотропии травления монокристаллического кремния, анизотропное травление пластины на глубину для получения требуемой толщины упругих элементов, при этом в процессе анизотропного травления плоской круглой пластины в травильном растворе проводят ее поворот вокруг своей оси в плоскости (100) на 360° дискретно с количеством шагов не менее четырех.
Способ определения уровня сыпучих веществ // 2773259
Предлагаемое изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в системах автоматического определения уровня сыпучих веществ в различных отраслях народного хозяйства, например, в сельском хозяйстве - при измерении уровня зерна в силосных башнях, муки, удобрений, в промышленности строительных материалов - при измерении уровня песка, гравия, щебня, цемента, керамзита и др.
Пьезокерамический материал // 2753917
Изобретение относится к области пьезокерамических материалов, предназначенных для ультразвуковых устройств, работающих в режиме приема, различных пьезодатчиков. Пьезокерамический материал, включающий оксиды свинца, циркония, титана, в соответствии с изобретением дополнительно содержит оксиды стронция, ниобия и германия при следующем соотношении компонентов, мас.
Изобретение относится к области электронной техники, а именно к средствам измерения, в которых применяют тонкопленочные тензорезисторы на металлической подложке. Способ изготовления тонкопленочной нано- и микроразмерной системы датчика физических величин с заданным положительным температурным коэффициентом сопротивления (ТКС) резистивных элементов заключается в том, что на планарной стороне твердотельной подложки методами вакуумного распыления образуют гетерогенную структуру из нано- и микроразмерных пленок материалов, содержащую тонкопленочные диэлектрические, резистивные и контактные слои, после чего с использованием фотолитографии и травления формируют резистивные элементы (тензорезисторы, терморезисторы), контактные проводники и контактные площадки к ним.
Изобретение относится к области приборостроения и может применяться при изготовлении кремниевых чувствительных элементов микромеханических датчиков, таких как акселерометры, датчики угловой скорости, давления и пр.
Изобретение относится к области приборостроения и может применяться при изготовлении кремниевых упругих элементов микромеханических датчиков, таких как датчики давления, ускорения, угловой скорости. В способе формирования профилированных кремниевых структур, заключающемся в формировании рельефа чередованием анизотропного и изотропного способов травления кремниевой структуры, после анизотропного и изотропного травления удаляют тонкий слой путем термического окисления и удаления оксида кремния с полученного рельефа.
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в системах автоматического измерения, управления и аварийной защиты, в состав которых входят измерители температуры на основе термопар.
Способ стабилизации резисторов // 2722213
Изобретение относится к технологии изготовления резисторов, в частности к стабилизации резисторов, и может быть использовано при производстве металлопленочных тензорезисторных датчиков давления, силы, деформации и гибридных интегральных схем в радиотехнической и приборостроительной промышленности.
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СФЕРИЧЕСКОГО РЕЗОНАТОРА // 2717262
Изобретение относится к области приборостроения и может применяться при создании резонаторов твердотельных волновых гироскопов и датчиков угловой скорости. В способе изготовления сферического резонатора формируют глухие отверстия в кремниевой пластине с планарной стороны, размещают на ней стеклянную пластину.
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОГИРОСКОПА // 2712927
Изобретение относится к области приборостроения и может применяться при изготовлении кремниевых чувствительных элементов микромеханических датчиков угловой скорости, гироскопов. Изобретение обеспечивает улучшение метрологических характеристик микрогироскопа за счет повышения степени вакуума во внутренней полости прибора.
Твердотельный волновой гироскоп // 2708907
Изобретение относится к метрологии, в частности, к твердотельным волновым гироскопам. Твердотельный волновой гироскоп содержит резонатор в виде осесимметричного тонкостенного элемента, способного к вибрации, один электрод резонатора, множество электродов датчиков, электродов управления, электронный блок управления, содержащий устройства вычисления угла, стабилизации амплитуды колебаний, подавления квадратурных колебаний и соединенный с электродами резонатора, электродами датчиков, электродами управления.
Имитатор выходных сигналов тензорезисторов // 2707573
Изобретение относится к технике метрологии для проверки и аттестации вторичных тензоизмерительных приборов. Имитатор выходных сигналов тензорезисторов состоит из измерительного моста 1, образованного резисторами 2-5, линеаризующего резистора 6, дифференциального усилителя 7, АЦП 8, микропроцессора 9 и ЦАП 10.
Изобретение относится к области приборостроения и может применяться при изготовлении кремниевых чувствительных элементов микромеханических датчиков, таких как датчики давления, акселерометры, датчики угловой скорости.
Изобретение относится к области приборостроения и может применяться при изготовлении упругих элементов, используемых в конструкциях кремниевых чувствительных элементов микромеханических датчиков - акселерометров, резонаторов, датчиков угловой скорости.
Интегральный преобразователь давления // 2687307
Использование: для контроля и (или) измерения давления жидкостей и газов. Сущность изобретения заключается в том, что интегральный преобразователь давления содержит кремниевый кристалл n-типа проводимости с плоской рабочей поверхностью и тонкой квадратной мембраной в центре кристалла с обратной стороны, на рабочей поверхности кристалла сформированы радиальные тензорезисторы р-типа проводимости, соединенные с помощью металлической электрической разводки в мостовую схему, на поверхности мембраны с обратной стороны кристалла методом анизотропного травления сформирован квадратный жесткий центр, по периметру мембраны и жесткого центра с рабочей стороны кристалла выполнены одинаковые по форме и размерам тензорезисторы, соединенные попарно, образуя четыре полумоста, с возможностью выбора идентичных рабочих тензорезисторов для настройки температурных уходов выходного сигнала, на рабочей поверхности кристалла вне зоны мембраны выполнены гальванически развязанные три группы сопротивлений из последовательно соединенных резисторов, с возможностью выборки номинала сопротивления для настройки выходных сигналов, четыре последовательно соединенные терморезистора расположены на одинаковом расстоянии друг от друга по периметру рабочей поверхности кристалла.
Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано для получения рельефа в диэлектрических подложках, в частности кварцевых, при изготовлении микромеханических приборов. Техническим результатом изобретения является повышение технологичности изготовления кварцевых диэлектрических подложек за счет сокращения времени выполнения технологических операций и увеличения процента выхода годных.
Пьезокерамический материал // 2677515
Изобретение относится к области сегнетомягких пьезокерамических материалов, предназначенных для ультразвуковых устройств, работающих в режиме приема, различных пьезодатчиков. Пьезокерамический материал, включающий оксиды свинца, циркония, титана, стронция, висмута и германия, дополнительно содержит оксиды бария, кальция и гадолиния при следующем соотношении компонентов, мас.
Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при изготовлении микромеханических датчиков, таких как акселерометры, датчики угловой скорости, чувствительные элементы которых выполнены из диэлектрического материала.
Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при изготовлении кремниевых кристаллов микромеханических приборов, таких как акселерометры, гироскопы, датчики угловой скорости.
Изобретение относится к области приборостроения и может применяться при изготовлении кремниевых микромеханических чувствительных элементов датчиков, таких как акселерометры, датчики угловой скорости, датчики давления.
Изобретение относится к технологии пьезоэлектрической керамики и может быть использовано при изготовлении керамики на основе ниобата-цирконата-титаната свинца для ультразвуковых устройств, различных пьезодатчиков.
Датчик давления тензорезистивного типа с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой // 2657362
Использование: для создания датчика давления с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой. Сущность изобретения заключается в том, что датчик давления с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой (НиМЭМС) содержит корпус, установленную в нем НиМЭМС, состоящую из упругого элемента - круглой мембраны, выполненной за одно целое с периферийным основанием, сформированной на ней гетерогенной структуры из тонких пленок материалов, в которой образованы включенные соответственно в противоположные плечи измерительного моста воспринимающие деформацию разного знака от измеряемого давления тензорезисторы, выполненные в виде соединенных тонкопленочными перемычками одинакового количества имеющих одинаковую форму тензоэлементов, расположенных по окружности на периферии мембраны, измерительные и питающие электрические цепи, соединяющие тонкопленочную НиМЭМС с выходом датчика, закрепленную и размещенную внутри периферийного основания с зазором относительно мембраны и периферийного основания в области, прилегающей к мембране, цилиндрическую втулку с цилиндрическим отверстием вдоль ее оси, в отверстии цилиндрической втулки размещен винт с наружным диаметром, обеспечивающим плотное закрепление винта во втулке с образованием винтового канала для измеряемой среды, ограниченного внутренней поверхностью цилиндрической втулки и наружной поверхностью винта, выполненной в виде однозаходной трапецеидальной резьбы с шагом, определяемым по определенному соотношению.
Изобретение относится к области приборостроения и может применяться при изготовлении упругих элементов, используемых в конструкциях кремниевых чувствительных элементов микромеханических датчиков - акселерометров, гироскопов, датчиков угловой скорости.
Изобретение относится к измерительной технике. Техническим результатом является обеспечение высокой точности измерения частоты входного сигнала в условиях наличия различного рода помех и упрощения схемы.
Волоконно-оптический датчик давления // 2628734
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в различных системах контроля и измерения давления. Волоконно-оптический датчик давления, выполненный на основе оптического волокна, содержит корпус, имеющий канал для подвода рабочей среды, оканчивающийся заглушкой, и оптическое волокно с двумя решетками Брэгга и в качестве чувствительного элемента.
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ // 2628733
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в тонкопленочных датчиках давления, предназначенных для измерения давления в агрегатах ракетной и космической техники при воздействии широкого диапазона нестационарных температур и повышенных виброускорений.
Изобретение относится к области приборостроения и могжет быть использованы для изготовления монокристаллических элементов, таких как струны, упругие элементы, технологические перемычки, используемые в конструкциях микромеханических приборов, например, микромеханических акселерометров, гироскопов, резонаторов.
Изобретение относится к области приборостроения и может применяться при изготовлении кремниевых кристаллов микроэлектромеханических систем, используемых в конструкциях микромеханических приборов, таких как акселерометры, гироскопы, датчики угловой скорости.
ПЬЕЗОКЕРАМИЧЕСКИЙ МАТЕРИАЛ // 2624473
Изобретение относится к области сегнетомягких пьезокерамических материалов, предназначенных для ультразвуковых устройств, работающих в режиме приема, различных пьезодатчиков, а также для устройств монолитного типа, таких как многослойные пьезоэлектрические актюаторы.
РЕЗОНАНСНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ // 2601221
Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к преобразователям давлений, и может быть использовано в разработке и изготовлении малогабаритных полупроводниковых датчиков давлений.
Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано при изготовлении кремниевых микромеханических датчиков. Сущность изобретения: в способе изготовления упругих элементов из монокристаллического кремния окисляют плоскую круглую пластину с ориентацией базовой поверхности в плоскости (100), наносят на нее защитный слой фоторезиста, проводят фотолитографию, вскрывают окна в окисном слое в области формирования упругих элементов на определенную ширину с учетом анизотропии травления монокристаллического кремния, анизотропно травят на глубину для получения требуемой толщины упругих элементов.
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к средствам измерения электрического тока, и может быть использовано в датчиках Холла. Способ заключается в том, что на первый и второй токовые контакты датчика Холла, который используется для измерения тока, подается постоянный ток, а на первый и второй холловские контакты подается тестовый переменный ток постоянной амплитуды с частотой, которая превышает верхнее значение диапазона измеряемого тока.
