Патенты принадлежащие Общество с ограниченной ответственностью "СВД.Спарк" (RU)
ДЕРЖАТЕЛЬ ПОДЛОЖКИ // 2607110
Изобретение относится к СВЧ технике и может быть использовано для изготовления держателей для подложек, на которых формируют методом плазменного парофазного химического осаждения пленки или покрытия различных материалов, в частности углеродные (алмазные) пленки или покрытия.
