Патенты принадлежащие ФЕНИКС НУКЛЕА ЛЭБС ЛЛС (US)

Изобретение относится к источнику отрицательно заряженных ионов. Заявленный источник ионов содержит плазменную камеру, микроволновой источник, устройство преобразования в отрицательно заряженные ионы, магнитный фильтр и приспособление для формирования пучка.
Наверх