Патенты принадлежащие ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "СПЕЦИАЛЬНОЕ КОНСТРУКТОРСКОЕ ТЕХНИЧЕСКОЕ БЮРО ЭЛЕКТРОНИКИ, ПРИБОРОСТРОЕНИЯ И АВТОМАТИЗАЦИИ" (ООО "СКТБ ЭлПА") (RU)
ДАТЧИК ЧИСТОТЫ ПОВЕРХНОСТИ ПЛАСТИН // 2617891
Изобретение относится к областям вакуумного и электронного приборостроения, ядерной технике и другим областям, требующим высокой чистоты от поверхностей, работающих в условиях контролируемой внешней среды.
