Патенты принадлежащие золар-земи ГмбХ (DE)

Изобретение относится к ручным инструментам, в частности к держателям обрабатываемых изделий. Тарелка (1) для размещения подложки (2) в устройстве для вращательной лакировки подложек (2) имеет расположенные на ее поверхности четыре присоса (5, 6, 7, 8) с гибкой поверхностью, причем каждый присос (5, 6, 7, 8) снабжен трубкой (15) с основанием, с помощью которого она крепится на пластине (3), при этом длина трубки определяет расстояние (А) от присоса или от подложки (2) до поверхности (9) пластины (3), а присос (5, 6, 7, 8) соединен каналом (10, 11, 12, 13), выполненным в тарелке (1), с источником разряжения.

В устройстве для обработки, в частности для травления и/или проявления подложек (17), в частности пластин, содержащем вращательную тарелку (1), вращательная тарелка (1) имеет зазор (3) Вентури. Устройство содержит источник среды под давлением и имеет по меньшей мере одно отверстие (13) для выпуска среды под давлением, причем указанное по меньшей мере одно отверстие расположено в средней области вращательной тарелки.
Наверх