Патенты принадлежащие Общество с ограниченной ответственностью "Поларлайт" (RU)

Изобретение относится к области анализа материалов, тонкопленочных структур и поверхностей с помощью оптических средств. Эллипсометр включает последовательно расположенные вдоль оптической оси источник излучения, плечо поляризатора и плечо анализатора.
Наверх