Патенты принадлежащие ВЕЙПОР ТЕКНОЛОДЖИЗ ИНК. (US)
Изобретение относится к системе и способу нанесения покрытия. Система включает вакуумную камеру и узел для нанесения покрытия.
Изобретение относится к способу и системе для нанесения покрытий на подложку. В системе узел нанесения покрытия расположен внутри вакуумной камеры.
