Патенты принадлежащие федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (RU)
Изобретение относится к электронной технике, в частности к полевым эмиссионным элементам, содержащим углеродные нанотрубки, используемые в качестве катодов, а также способу их изготовления. Способ изготовления полевого эмиссионного элемента включает формирование на электропроводящей подложке диэлектрического слоя, формирование маски для травления диэлектрического слоя и электропроводящей подложки, формирование матрицы отверстий в диэлектрическом слое и углублений в подложке, формирование слоя катализатора для выращивания углеродных нанотрубок, удаление маски, формирование маски для травления слоя катализатора, жидкостное химическое травление слоя катализатора с образованием областей катализатора внутри углублений в электропроводящей подложке для последующего выращивания углеродных нанотрубок, удаление маски, плазмохимическое осаждение второго диэлектрического слоя, магнетронное осаждение вытягивающего слоя, формирование маски для травления структуры, состоящей из вытягивающего и второго диэлектрического слоев, над ранее сформированными областями катализатора внутри углублений в подложке для последующего выращивания углеродных нанотрубок, плазмохимическое анизотропное травление с образованием отверстий в вытягивающем и диэлектрическом слоях до формирования сквозного отверстия, удаление маски, изотропное газофазное травление второго диэлектрического слоя до вскрытия катализатора, парофазный синтез углеродных нанотрубок на катализаторе.
Электрод суперконденсатора // 2670281
Изобретение относится к электронной технике, в частности к суперконденсаторам. Изобретение может быть использовано в энергетике, при создании высокоэффективных генераторов и накопителей электрической энергии, в автономных мобильных миниатюрных слаботочных источниках питания, применяемых в системах микроэлектроники.
Радиоприёмное устройство // 2662908
Использование: для создания элементов и приборов радиоприемной аппаратуры. Сущность изобретения заключается в том, что радиоприемное устройство, содержащее подложку с нанесенным на нее, по меньшей мере одним, диэлектрическим слоем, в диэлектрическом слое и подложке выполнено углубление, на поверхности диэлектрического слоя с примыканием к углублению на его сторонах выполнены катод, анод, радиоэлектрод и управляющий электрод с отсутствием электрического контакта между ними, на боковой поверхности катода, примыкающей к углублению, сформирован массив из углеродных нанотрубок, область с углублением закрыта герметизирующей пластиной.
Изобретение относится к электронной технике, в частности к способам изготовления суперконденсаторов. Способ изготовления электрода суперконденсатора заключается в нанесении на проводящую подложку буферного слоя, каталитического слоя, затем диэлектрического слоя, вскрытии в диэлектрическом слое матрицы окон до каталитического слоя с поперечным размером 40-60 мкм, осаждении в окнах массивов вертикально ориентированных углеродных нанотрубок, функционализации поверхности углеродных нанотрубок кислородсодержащими группами, формировании слоя полианилина, содержащего изотоп С-14, на вертикально ориентированных углеродных нанотрубках электрохимическим осаждением, отжиге.
Изобретение относится к способу изготовления радиоприемного устройства с применением углеродных нанотрубок. Технический результат заключается в повышении стабильности работы и срока службы радиоприемного устройства с применением углеродных нанотрубок.
Изобретение относится к электронной технике, в частности к полевым эмиссионным элементам, содержащим углеродные нанотрубки, используемые в качестве катодов, а также способу их изготовления. Полевой эмиссионный элемент содержит электропроводящую подложку 1, расположенный на ней диэлектрический слой 3, над которым расположен вытягивающий слой 5, в структуре, состоящей из вытягивающего 5 и диэлектрического 3 слоев, выполнена матрица сквозных отверстий 7, на стенках которых расположен изолирующий слой 6, а на дне отверстий расположен слой катализатора 4, на котором сформирован массив углеродных нанотрубок 2.
Изобретение относится к способам изготовления автоэмиссионных катодов с применением углеродных нанотрубок и может быть использовано для изготовления элементов и приборов вакуумной микро- и наноэлектроники.
