Патенты принадлежащие МИДАС СИСТЕМ КО., Лтд. (KR)
УСТРОЙСТВО ВЫРАВНИВАНИЯ ПОДЛОЖКИ ДЛЯ ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЬНОЙ УСТАНОВКИ СОВМЕЩЕНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ // 2650724
Заявленные изобретения относятся к области фотолитографии и предназначены для выравнивания подложки высокопроизводительной установки совмещения фотошаблонов. Техническим результатом является улучшение процесса выравнивания подложки и, в частности, разработка новой технологии предотвращения проблем выравнивания путем надежной фиксации полностью выровненной подложки пластины.
