Патенты принадлежащие Габсалямов Генрих Габдуллович (RU)
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при разработке и изготовлении приборов на основе транзисторов с металлическим каналом. Пленочный полевой транзистор с металлическим каналом, который содержит сформированные на изолирующей подложке электроды истока и стока, между которыми расположен электрод затвора, покрытый изолятором затвора, а на изоляторе затвора и на электродах истока и стока, образуя с ними омические контакты, расположен слой металлического канала, у которого удельное сопротивление ρ металлического канала составляет 0,1-10 Ом⋅м, толщину L металлического канала выбирают в диапазоне толщин 30-150 нм по определенному условию.
