Патенты принадлежащие Закрытое акционерное общество "Руднев-Шиляев" (RU)
Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно изготовлению изделий микроэлектроники, содержащих в конструкции клеевое адгезионное соединение «полиимидная пленка-металл». В частности, предложена обработка полиимидной пленки в факеле неравновесной гетерогенной низкотемпературной СВЧ-плазмы при атмосферном давлении, использующей в качестве буферного газа смесь аргона и кислорода, и взаимном перемещении пленки и факела плазмы при частоте следования импульсов возбуждения не менее 50 Гц и скважности импульсов 2,6-2,85.
