Патенты принадлежащие ООО "Инновационные Вакуумные Решения" (RU)
Способ управления скоростью распыления материала в геттерном насосе и устройство геттерного насоса // 2661493
Изобретение относится к cпособу управления скоростью распыления материала в геттерном насосе и устройству геттерного насоса. Предусмотрено автоматическое управление распылением геттерного материала в зависимости от текущего давления в камере: чем выше давление, тем меньше период следования импульсов поджига.
