Патенты принадлежащие ЛЭМ РИСЕРЧ КОРПОРЕЙШН (US)

БЕЗОПАСНОЕ УНИВЕРСАЛЬНОЕ ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ДЛЯ КОНФИГУРИРОВАНИЯ ГРУППОВЫХ АППАРАТОВ // 2415468

Изобретение относится к области аппаратов плазменной обработки. .

СПОСОБЫ И УСТРОЙСТВА ДЛЯ КОНФИГУРИРОВАНИЯ ГРУППОВЫХ АППАРАТОВ ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ // 2406137

ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ ДЕРЖАТЕЛЬ ДЛЯ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ В ВАКУУМНОЙ КАМЕРЕ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ОБРАБОТКИ, СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖКИ И РАСШИРИТЕЛЬНЫЙ УЗЕЛ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОГО ДЕРЖАТЕЛЯ // 2295799

Изобретение относится к электростатическому держателю, используемому для обработки подложек, таких как полупроводниковые пластины. .

КАМЕРА ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ И СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПОДЛОЖКИ В ТАКОЙ КАМЕРЕ // 2237314

Изобретение относится к области электротехники, в частности к травильным камерам с плазмой высокой плотности. .

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАЖИМА ЭЛЕКТРОДА, СПОСОБ ЕГО СБОРКИ И ИСПОЛЬЗОВАНИЯ // 2163044

Изобретение относится к устройству для плазменной обработки полупроводниковых пластин, а более конкретно - к устройству для зажима электрода, в котором электрод упруго зажимают в опорном узле. .