Патенты принадлежащие ФГУП Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" (RU)

Изобретение относится к контролю качества микромеханических устройств, используемых в акселерометрах, гироскопах, датчиках давления. .

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в электронном приборостроении и микромеханике. .