Патенты принадлежащие Открытое акционерное общество "Подольский химико-металлургический завод" (RU)
РЕАКТОР С ПСЕВДООЖИЖЕННЫМ СЛОЕМ // 2346736
Изобретение относится к химическому машиностроению и может быть использовано для синтеза трихлорсилана в технологии полупроводникового кремния. .
Изобретение относится к металлургии полупроводниковых материалов и может быть использовано, например, при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского. .
Изобретение относится к механизмам для вращения и передвижения в установках для выращивания монокристаллов полупроводников по методу Чохральского. .
Изобретение относится к обработке выращенных методом Чохральского монокристаллов кремния и может быть использовано при изготовлении монокристаллических кремниевых пластин - элементов солнечных батарей и интегральных схем.
СПОСОБ ПРОИЗВОДСТВА ТРИХЛОРСИЛАНА // 2254291
Изобретение относится к металлургической промышленности, в частности к способу производства трихлорсилана, и может быть использовано в производстве полупроводникового кремния. .
