Патенты принадлежащие Прокофьев Александр Васильевич (RU)
ИСТОЧНИК ЭУФ-ИЗЛУЧЕНИЯ // 2373591
Изобретение относится к устройствам для получения экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения высокой средней мощности из плазмы импульсно-периодического вакуумного разряда, инициируемого лазером между вращающимися электродами.
ЭУФ ИСТОЧНИК С ВРАЩАЮЩИМИСЯ ЭЛЕКТРОДАМИ И СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭУФ ИЗЛУЧЕНИЯ ИЗ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ // 2278483
Изобретение относится к устройству и способу для получения преимущественно экстремального УФ излучения, а также рентгеновского и мягкого рентгеновского излучения из плотной горячей плазмы разрядов пинчевого типа с вращающимися электродами.
