FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты принадлежащие ЛАМ РИСЁРЧ КОРПОРЕЙШН (US)
СПОСОБ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПЕРИОДИЧЕСКОЙ МОДУЛЯЦИИ ГАЗООБРАЗНЫХ РЕАГЕНТОВ
// 2339115
УСОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ ПРОЦЕССА УДАЛЕНИЯ РЕЗИСТА В УСТАНОВКЕ ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИКА С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПУЧКА ПЛАЗМЫ
// 2279732
Изобретение относится к области изготовления полупроводниковых приборов. .
Подписаться на новые патенты этого владельца
Отправить сообщение владельцу патента
Я этот человек или организация