Устройcтва, содержащие элементы, которые перемещаются относительно друг друга, например скользят или вращаются (B81B5)
B81 Микроструктурные технологии(126)
B81B5 Устройcтва, содержащие элементы, которые перемещаются относительно друг друга, например скользят или вращаются(5)
Группа изобретений относится к области микроустройств, в частности, относящихся к типу микроэлектромеханических систем (MEMS). Микроустройство в виде инерциального датчика, содержащего множество подвижных элементов (100), и способ изготовления микроустройства (100) путем травления, содержащего подвижный элемент (111), способный перемещаться относительно фиксированного участка (115), созданный в первом и втором слоях (104, 106) материала, расположенных один над другим так, что подвижный элемент содержит участок (112) первого слоя и участок (118) второго слоя, скрепленные друг с другом, и в котором подвижный элемент подвешен на фиксированном участке с помощью средства (121) подвески, сформированного в первом и/или втором слое материала.
Оптический модулятор // 2563120
Изобретение относится к области обработки информации, в частности к конструкции оптических модуляторов. Техническими результатами являются уменьшение мерцания изображения и экономия энергии.
Экран и оптический коммутатор // 2473936
Изобретение относится к области обработки оптической информации: к конструкции экранов и оптических коммутаторов с микроэлектромеханическими оптическими регулятороми. .
Микро-, нанодвигатель // 2468494
Изобретение относится к микро- и нанодвигателям и может быть использовано для построения микро- и нанодвигателей систем передвижения и транспортировки различного назначения. .
Наклоняюще-качающее приспособление для гибридизации микросхем методом перевернутого кристалла // 2411179
Изобретение относится к области полупроводниковой микроэлектроники и может быть использовано при разработке оборудования для изготовления гибридных полупроводниковых микросхем методом перевернутого кристалла (flip-chip).
Устройство подвижки образца // 2377620
Изобретение относится к области нанотехнологии и направлено на обеспечение перемещения образца по трем координатам (X, Y, Z), в частности, для перемещения образцов, держателей образцов и других элементов в сканирующей зондовой микроскопии.
