Содержащие отдельные электрические или оптические устройства, необходимые для их функционирования, например микроэлектромеханические системы (B81B7/02)
B81 Микроструктурные технологии(126)
B81B7 Микроструктурные системы(43)
B81B7/02 Содержащие отдельные электрические или оптические устройства, необходимые для их функционирования, например микроэлектромеханические системы (мэмс) ( B81B7/04 имеет преимущество)(22)
Система управления устройством с эффектом памяти формы для манипулирования микро- и нанообъектами // 2778525
Изобретение относится к системе управления устройством с ЭПФ для манипулирования микро- и нанообъектами. Система содержит микропроволоку с основанием и концом, выполненным коническим и заточенным путем электрохимического травления, на котором закреплено устройство с ЭПФ для манипулирования микро- и нанообъектами, рабочее поле с манипулируемым объектом и источник подогрева, при этом основание микропроволоки укреплено на нанопозиционере, причем источник подогрева выполнен в виде малоразмерного резистивного нагревающего элемента, расположенного в тепловом контакте с микропроволокой, и электронную систему питания и управления током, протекающим через резистивный элемент, подводящие провода, соединяющие резистивный элемент с электронной системой питания и управления током, причем конец микропроволоки выполнен с переменным профилем в виде комбинации геометрических фигур - усеченного конуса, цилиндра с диаметром меньшим, чем диаметр основания проволоки, и конуса, на острие которого закреплено устройство с ЭПФ для манипулирования микро- и нанообъектами, а нагревательный элемент расположен на поверхности цилиндра с меньшим диаметром.
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к чувствительным элементам (электродным узлам) молекулярно-электронных преобразователей диффузионного типа. Молекулярно-электронный преобразующий элемент включает две группы электродов, в каждой из которых один электрод - анод находится при потенциале более высоком, чем второй электрод - катод, при этом согласно изобретению молекулярно-электронный преобразующий элемент содержит дополнительные электроды, расположенные вблизи областей, находящихся при том же потенциале, что и катод, но гальванически развязанных от катода.
Изобретение относится к измерительной технике в частности к чувствительным элементам (электродным узлам) молекулярно-электронных преобразователей диффузионного типа. Сущность изобретения заключатся в том, что в преобразующем элементе молекулярно-электронного преобразователя диффузионного типа, содержащем две пары выполненных из нитей сетчатых электродов, расположенных перпендикулярно потоку рабочей жидкости и подключенных к источнику напряжения таким образом, что в каждой паре сетчатых электродов потенциал одного из электродов - анода выше потенциала другого электрода - катода, поверхности нитей, из которых изготовлены катоды, покрыты диэлектрическим слоем со стороны, противоположной близлежащему аноду.
Изобретение относится к области микросистемной техники и может быть использовано в интегральной электронике для коммутации сигналов. Техническим результатом является коммутации сигналов сантиметрового волнового диапазона с низкими вносимыми потерями, низкой индуктивностью, низким напряжением смещения, малым временем переключения из одного состояния в другое, исключение чувствительности к вибрациям, внешним ускорениям, исключение произвольных срабатываний переключателя при коммутации сигналов высокой мощности, повышение жесткости конструкции неподвижного верхнего электрода электростатического привода.
Изобретение относится к области микросистемной техники и может быть использовано в интегральной электронике для коммутации сигналов. Техническим результатом является коммутация сигналов сантиметрового волнового диапазона с низкими вносимыми потерями, низкой индуктивностью, низким напряжением смещения, малым временем переключения из одного состояния в другое, исключение чувствительности к вибрациям, внешним ускорениям, исключение произвольных срабатываний переключателя при коммутации сигналов высокой мощности, повышение жесткости конструкции неподвижного верхнего электрода электростатического привода.
Использование: для изготовления конструктивного элемента. Сущность изобретения заключается в том, что создают композит первого слоя, содержащий первую подложку, выполненную из проводящего материала, и по меньшей мере одну канавку, сформированную в нем и заполненную изолирующим материалом, причем первая область первой подложки электрически изолирована в боковом направлении от других областей первой подложки посредством канавки, создают композит второго слоя, содержащий композит первого слоя и структурный слой, который содержит активную структуру конструктивного элемента и выполнен электропроводящим по меньшей мере в первой области, причем активная структура примыкает к первой поверхности первой подложки в первой области первой подложки и соединена с ней электропроводящим образом, на второй поверхности первой подложки, расположенной противоположно первой поверхности первой подложки, затем создают первую контактную площадку в первой области первой подложки, причем первая область первой подложки электрически изолирована в боковом направлении от других областей первой подложки посредством канавки на второй поверхности первой подложки.
Группа изобретений относится к датчикам для измерения скорости воздушного летательного аппарата по отношению к окружающей его воздушной массе. Сущность заключается в том, что устройство для измерения скорости воздуха содержит гибкую конструкцию, имеющую внешнюю поверхность с первым открытым каналом для воздуха, имеющим нижнюю часть с первым отверстием, и первый датчик давления, установленный в гибкой конструкции в положении с нижней стороны и сообщающийся по текучей среде с первым отверстием.
Использование: для изготовления трехмерных микромеханических структур на кремниевой пластине. Сущность изобретения заключается в том, что способ защиты углов трехмерных микромеханических структур на кремниевой пластине с кристаллографической ориентацией (100) при глубинном анизотропном травлении в водном растворе гидрооксида калия KОН включает формирование масочного рисунка с элементами защиты углов, примыкающими к исходной части топологической маски вблизи точки пересечения сторон защищаемого чипа или трехмерной микроструктуры на пластине и продолжающимися за пределы исходной части маски, при котором для защиты выпуклых углов чипа или трехмерной микроструктуры формируют масочный рисунок с элементами Т-образной формы, содержащей продольную и поперечную части, причем травление проводят до тех пор, пока кремниевые элементы, сформированные в области маски защиты углов, не стравятся в процессе анизотропного химического травления до границы исходной топологической области жесткого центра микромеханической структуры, продольные части двух соседних Т-образных элементов защиты перпендикулярны друг другу, причем размеры изготовляемых трехмерных микромеханических структур определяют из определенных условий.
Электростатический мэмс ключ // 2541439
Изобретение относится к микроструктурным микроэлектромеханическим системам. Электростатический микроэлектромеханический ключ содержит кремниевый кристалл со сформированным подвижным электродом в виде консоли с выполненными в ней симметричными щелевидными отверстиями, образующими гибкие поддерживающие балки разной длины, перпендикулярные друг другу, и подложку, на которой размещен, по меньшей мере, один неподвижный электрод и токовые шины, соединенную с кремниевым кристаллом с образованием зазора между подвижным и неподвижным электродами, причем подвижный электрод снабжен шунтом, закорачивающим токовые шины при контакте и расположенным со смещением относительно центра в сторону от свободного края подвижного электрода.
Изобретение относится к области микроэлектроники - устройствам микросистемной техники, выполненным по технологиям микрообработки кремния, и может выполнять роль исполнительного элемента датчиковой аппаратуры в части измерения параметров перемещения, ускорения, температуры, механической силы, массы, электрической мощности, потока, освещенности и влажности.
Техническим результатом заявленного изобретения является:
- совмещение в одной конструкции датчиков различных физических величин, в частности: перемещения, ускорения, температуры, механической силы, массы, электрической мощности, потока, освещенности и влажности;
- возможность функционирования в условиях открытого космоса и устойчивость к жестким температурным условиям эксплуатации;
- возможность изготовления датчика групповыми методами по стандартным технологиям микрообработки кремния и механообработки элементов конструкции;
- широкие возможности по унификации и созданию типоразмерного ряда датчиков с различными пределами измерения необходимых физических величин;
- возможность подстройки датчика за счет активного режима работы;
- применение в качестве датчика обратной связи для систем на основе подвижных термомеханических микроактюаторов.
Технический результат достигается тем, что микросистемный емкостной датчик измерения физических величин включает:
- основание из диэлектрического материала,
- один или более исполнительных элементов в виде подвижных термомеханических микроактюаторов, расположенных на основании;
при этом над слоем полиимида подвижных термомеханических микроактюаторов на боковых противоположных гранях кремниевых канавок, заполненных полиимидом, сформированы металлические обкладки конденсатора, параллельно соединенные между собой проводниками, идущими вдоль подвижного хвостовика термомеханического микроактюатора до его основания;
на основании и/или внутри основания сформированы металлизированные дорожки для электрического контакта к площадкам подвижного термомеханического микроактюатора, выполненным с возможностью измерения емкости между обкладками сформированного на подвижном термомеханическом микроактюаторе конденсатора.
Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система (МЭМС) предназначена для использования в газоанализаторах, в медицине в качестве биосенсоров, в микроэлектронике и других высокотехнологичных областях для контроля технологических процессов.
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектрических систем (НиМЭМС), предназначенных для использования в системах управления, контроля и диагностики объектов длительного функционирования.
Составной микромеханический компонент из кремния с металлом и способ изготовления компонента // 2474532
Изобретение относится к способу изготовления составного микромеханического компонента, сочетающему процессы глубокого реактивного ионного травления и литографии, гальванопластики и формования. .
Изобретение относится к преобразующим элементам устройств для проведения инерциальных измерений. .
Изобретение относится к теплоэнергетике и позволяет генерировать электрическую энергию за счет модуляции теплового потока, проходящего через электрический конденсатор с температуро-зависимой емкостью. .
Микроэлектромеханический ключ // 2406688
Изобретение относится к радиотехнике сверхвысокой частоты (СВЧ) и может быть использовано в радиосистемах, например в перестраиваемых радиолокационных системах. .
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам, предназначен для использования в различных областях науки, связанных с измерением давления в условиях воздействия нестационарных температур и повышенных виброускорений.
Изобретение относится к устройствам точного позиционирования образца в сверхвысоком вакууме при помощи пьезоэлектрических двигателей и системы емкостных датчиков в установках с фокусированным ионным или электронным пучком, в которых формируются наноэлементы.
