Изобретение относится к процессам, применяемым для разделения фторидных газов. Для инактивации примесей фторидов щелочных и/или щелочноземельных металлов в сорбенте- фториде лития сорбент обрабатывают тетрафторидом кремния, полученным термическим разложением гексафторосиликата лития при температуре 175-185°C.