Триодное распыление (C23C14/42)

C Химия; металлургия(326262)

C23 Покрытие металлических материалов; покрытие других материалов металлическим материалом (металлизация текстильных изделий D06M11/83; декоративная обработка текстильных изделий местной металлизацией D06Q1/04); химическая обработка поверхности; диффузионная обработка металлического материала; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще (для специфических целей см. соответствующие классы, например для производства резисторов H01C17/06); способы предотвращения коррозии металлического материала, образования накипи или корок вообще (обработка металлических поверхностей или покрытие металлов электролитическим способом или способом электрофореза C25D,C25F) (12971)

C23C14/42 Триодное распыление ( C23C14/35 имеет преимущество)(9)

Устройство для химико-термической обработки деталей в несамостоятельном тлеющем разряде // 2355817

Изобретение относится к области химико-термической обработки металлов, а именно к устройствам для обработки деталей в несамостоятельном тлеющем разряде и может быть использовано в машиностроении, автостроении и арматуростроении.

Триодный способ катодно-плазменного азотирования деталей с отверстиями // 2279496

Изобретение относится к химико-термической обработке, в частности к ионному азотированию. .

Устройство для обработки отверстий деталей в разряде в условиях низкого давления // 2173353

Катодный узел // 2089661

Катодный узел для получения тонких пленок в вакууме // 2089660

Устройство для получения защитно-декоративных покрытий в вакууме ионно-плазменным напылением // 2065890

Устройство для нанесения диэлектрических покрытий катодным распылением в вакууме // 1322701

Изобретение относится к вакуумной технике. .

Источник магнетронного распыления ферромагнитных материалов // 1036075

// 247001