Средства наблюдения за процессом покрытия (C23C14/52)
C23C14/52 Средства наблюдения за процессом покрытия(13)
Изобретение относится к области космонавтики, в частности к получению тонких пленок тепловой энергией самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС), для устранения микротрещин на поверхности корпуса космических летательных аппаратов (КЛА).
Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к области получения тонких пленок металлов. Устройство для получения тонких пленок металлов тепловой энергией самораспространяющегося высокотемпературного синтеза содержит вакуумную рабочую камеру 1, испаритель 4, в котором находится испаряемый материал 5, емкость для СВС-шихты, источник кратковременного теплового импульса, подложки 8, нагреватель 9 подложек 8, заслонку 7 для перекрытия потока частиц испаряемого материала 5, расположенную между испарителем 4 и подложками 8, и средства создания вакуума в рабочей камере, при этом емкость для СВС-шихты выполнена в виде вольфрамового цилиндра 2, заполненного инертным газом при нормальных атмосферных условиях, в котором установлена спрессованная СВС-шихта 3 и вольфрамовые спирали 6 для инициирования кратковременного теплового импульса, в верхней части цилиндр 2 герметично закрыт вольфрамовой крышкой с вогнутой полостью в форме лодочки, одновременно являющейся испарителем 4, заслонка 7 закреплена на стержне, установленном на основании вакуумной камеры 1, при этом испаритель 4 с испаряемым материалом 5 и подложки 8 находятся в условиях высокого вакуума.
Изобретение относится к измерительной технике. Способ получения акустической информации для мониторинга технологического процесса поверхностного легирования керамического и твердосплавного инструмента заключается в присоединении к обрабатываемому объекту волновода, закреплении на волноводе датчика колебаний и обработке информации с помощью компьютера, регистрации значений сигналов в двух частотных диапазонах до момента падения амплитуды сигналов до уровня фоновых шумов.
Изобретение относится к машиностроению. Способ мониторинга структурных, фазовых и химических преобразований в приповерхносном слое обрабатываемых объектов в вакуумных камерах под воздействием электронно-пучковых импульсов заключается в присоединении к обрабатываемому объекту гибкого волновода, выходящего за пределы вакуумной камеры через вакуумный ввод, закреплении на волноводе акселерометра и обработке информации с последнего с помощью компьютера.
Изобретение относится к вакуумной технике. Устройство для защиты смотрового окна вакуумной камеры содержит ленту, протягиваемую вдоль окна ведущим и ведомым роликами.
Изобретение относится к области машиностроения, а именно к способам получения истираемых материалов из металлических волокон, и может быть использовано при изготовлении уплотнений проточной части компрессора и турбины газотурбинного двигателя, в газонефтеперекачивающих установках для изготовления фильтров.
Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для защиты смотровых окон вакуумных камер от запыления при визуальном контроле за прочессами термического испарения и нанесения покрытий в вакуумной камере.