С использованием внутренних электродов (C23C16/509)
C23C16/509 С использованием внутренних электродов(3)
Изобретение относится к способу вакуумного ионно-плазменного осаждения тонкой аморфной пленки из фосфор-оксинитрида лития LiPON на подложку. Проводят нагрев, плавление, испарение ортофосфата лития Li3PO4 и формирование пленки на поверхности подложки в плазме разряда низкого давления с самонакаливаемым полым катодом и анодом, состоящим из двух частей.
Изобретение относится к способу обработки внешней и внутренней поверхностей диэлектрической трубки посредством охватывающего барьерного разряда. При осуществлении способа размещают электрод в жидком электролите, подводят обрабатываемую трубку к электролиту, подают напряжение с переменной частотой к электролиту посредством электрода, при этом трубку к электролиту подводят на расстояние l, равное Технический результат заключается в уменьшении шероховатости поверхности и увеличении гидрофильности внешней и внутренней поверхностей диэлектрической трубки.
Изобретение относится к устройству для вакуумной плазменной обработки гибкого обрабатываемого целевого изделия. .
Изобретение относится к устройству и способу для создания барьерной пленки на внутренней поверхности обрабатываемого контейнера (12) (варианты) и контейнеру с покрытием барьерной пленкой (варианты), создающей барьер против проникновения газа в контейнере, например, из полимерного материала.